Was sind Fotomasken?
Was ist eine Fotomaske?
Eine Fotomaske ist ein einseitig lichtundurchlässig beschichtetes Quarz oder Glassubstrat. Die lichtundurchlässig Schicht, meist aus Chrom, wird strukturiert und stellt später z.B.: Eine Ebene des zu fertigenden Bauelement dar.
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Wie nutzt man ein Fotomaske?
Fotomasken besitzen verschiedenste Anwendungsmöglichkeiten, die häufigsten Anwendungen finden sie in technologischen Prozessen der Halbleiterindustrie.
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Wie wird eine Photomaske hergestellt?
Die gewünschten Strukturen werden mit Hilfe eines Elektronenstahl- oder Laser-Schreiber in das mit fotoempfindlichen Lack und Chrom beschichtete Glassubstrat übertragen. Der Resist wird gelöst und das darunterliegende Chrom an den freigelegten Bereichen durch ein Ätzverfahren entfernt. So entsteht eine Strukturierte Chrom Oberfläche.
Andere Anwendungen von Fotomasken
Photomasken wurden in den 1960er und 70er ausschließlich verwendet um Integrierte Schaltungen herzustellen. Heute werden sie jedoch für eine Vielzahl von anderen Prozessen und Anwendung genutzt.
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Fotomasken Typen
Hier erfahren Sie mehr über die vielfältigen Typen von Fotomasken und wie sie eingesetzt werden.
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