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Master 1X
Master weden für Kontakt- oder Projektionsbelichtung verwendet.

Master 1X - mit Kopien
Sie können Ihre Master auf Wunsch bei uns einlagern. Benötigen Sie dann Kopien können wir diese noch schneller an Sie ausliefern.

Kopien sind ein gespiegeltes Abbild des Masters und sie sind sehr nützlich wenn Ihre Masken aufgrund häufige Nutzung schnell verschleißen.
Sie sind für viele Prozesse ausreichend und haben wegen ihrer geringeren Spezifikation einen deutlich niedrigeren Preis.

Reticle
Reticle werden bei der verkleinernden Projektionsbelichtung auf Wafer-Steppern eingesetzt und können 1X, 2X, 2.5X , 4X, 5X und 10X skaliert sein. Wir bietet Reticle für alle gängigen Step-Scan-Systeme an.

1X Master with Coating
Master weden für Kontakt- oder Projektionsbelichtung verwendet.
MPT™ is an optically transparent fluoropolymer mask protection agent applied to chrome side of the mask. It helps reduce defects on wafers by providing a release [anti-sticktion] layer that significantly minimizes adhesion of resist onto the mask.

Die letzte Zahl entspricht der Maskendicke in Zoll.

Der maximale Schreibbereich ist ca. 10mm kleiner als das genutzte Maskenformat.

Quarz Masken sind teurer, sie dehnet sich aber kaum aus wenn sich die Maske während des Gebrauchs erwärmt.
Außerdem ist Quarzglas für tief Ultraviolette (DUV) Wellenlängen des Lichtes im Gegensatz zu Soda Lime Glas durchlässig.

Quarz Glas wird verwendet wenn die zur Belichtung genutzte Wellenlänge kleiner oder gleich 365nm (i-line) sind.

Für bestimmte Formate können wir auch eine Eisenoxid Beschichtung, anstelle der normalen Chrom Schicht anbieten.

Die hier anzugebende kleinste Strukturbreite ist eventuell nicht die kleinste Struktur in Ihrem Design, jedoch die kleinste Struktur die unbedingt auf der Maske aufgelöst werden muss. (MFS) Wir sind jedoch bemüht immer alle in Ihrem Design enthaltenen Strukturen möglichst gut aufzulösen.

Bitte beachten Sie, dass unser Kopierprozess eine garantiere Auflösungsgrenze von minimal 2μm hat. Sie müssen uns unbedingt darauf hinweisen wenn Sie Strukturen Aufgelöst haben wollen die kleiner sind.

Die maximal zulässige Abweichung aller Strukturen, die größer oder gleich der unter kleinste Strukturbreite (MFS) angegebenen Maße sind.

Defekte sind Stellen an denen die Strukturen der fertigen Maske nicht den Daten entsprechen die zum schreiben der Maske verwendet worden.

Strip & Ship
Wenn Defekte keinen besonderen Einfluss haben ist eine Mikroskopkontrolle häufig ausreichend.

Masken dieser Kategorie werden ausgeliefert solang keine Defekte mit dem bloßem Auge zu erkennen sind.

Es wird keine automatische oder mikroskopische Inspektion zur Ermittlung der Defekte durchgeführt. Masken dieser Kategorie sind deutlich günstiger als Inspizierte Masken.

Die Strip & Ship Option bietet eine kosteneffiziente Methode Prototypen zu fertigen bei denen eine hohe Ausbeute keine große Rolle spielt.

Die Größe eines Defekts der die Funktion des Designs beeinflussen bzw. beeinträchtigen würde.

Die Positionsgenauigkeit der Strukturen über die gesamte Fläche der Masken wird als Registration bezeichnet und wird an den Belichtungstools durch SPC garantiert.

Defekte sind Stellen an denen die Strukturen der fertigen Maske nicht den Daten entsprechen die zum schreiben der Maske verwendet worden.

Strip & Ship
Wenn Defekte keinen besonderen Einfluss haben ist eine Mikroskopkontrolle häufig ausreichend.

Masken dieser Kategorie werden ausgeliefert solang keine Defekte mit dem bloßem Auge zu erkennen sind.

Es wird keine automatische oder mikroskopische Inspektion zur Ermittlung der Defekte durchgeführt. Masken dieser Kategorie sind deutlich günstiger als Inspizierte Masken.

Die Strip & Ship Option bietet eine kosteneffiziente Methode Prototypen zu fertigen bei denen eine hohe Ausbeute keine große Rolle spielt.

Die Größe eines Defekts der die Funktion des Designs beeinflussen bzw. beeinträchtigen würde.