Reticle/Reduction Reticle

Reticle für High-End-Prozesse

1920x1200-PRODUCT04Wir machen: 1X, 2X, 2.5X, 4X, 5X, 10X

Reticle sind ganz spezielle high-end Fotomasken die verschiedenste Vorteile bieten. Sie können eine oder mehrere Design-Ebenen enthalten. Diese werden dann in der Wafer-Lithographie an sogenannten “Stepern” eingesetzt. Bei diesen Systemen werden die Strukturen, die sich auf dem Reticle befindet, mehrfach per Projektionsbelichtung oder per verkleinernder Projektionsbelichtung auf den Wafer projektiert bis der gesamte Wafer im “Step and Repeat Verfahren belichtet ist. Die Oberfläche eines Reticle wird meist mit Hilfe eins Pellicle vor Kontaminationen geschützt.

2_Image_Beispiel Reticle

Compugraphics besitzt langjährige Erfahrung in der Herstellung von Reticlen für alle großen Wafer-Reticle-Lithographie-Systeme wie ASML, Nikon, Canon, Ultratech.

Typischerweise ist das auf den Wafer übertragene Bild des Reticle durch eine Linsenoptik um einen Faktor von 1X, 2X, 2,5X, 4X, 5X oder 10X “reduziert” bzw. “verkleinert”. Das bedeutet, dass alle Masken-Fehler-Faktoren(MEF) z.B.: Linienbreite, mögliche Positionsfehler oder mögliche Strukturdefekte können ebenfalls durch die Projektion reduziert werden. Außerdem können auf dem Wafer kleinere Linienbreiten als auf dem ursprünglichen Reticle erreicht werden.

Wafer-Reticle-Lithographie-Systeme verwenden in der Regel Licht mit sehr geringen Wellenlängen. Die gebräuchlichsten Verfahren sind I-Linie (365 nm), KrF DUV (248 nm) und ArF DUV (193 nm). Mit der Reticle-Enhancement-Techniques (RET), wie beispielsweise OPC und PSM kann man kleinere Strukturen, als die Wellenlänge des verwendeten Lichts erzeugen (auch als Sub-Wellenlängen-Lithographie bekannt, siehe OPC and Phase Shift Masks).

Pellicle aufbringen

Um die Oberfläche der Stepper-Reticle vor Partikeln zu schützen, ist es in der Praxis Standard ein “Pellicle” aufzubringen. Pellicle gibt es in allen möglichen Formen und Abmessungen je nach Hersteller, System oder Modell des eingesetzten Lithographie-Tool.

Glücklicher hat Compugraphics einen großen Bestand der am häufigsten eingesetzten Pellicle Typen, fragen Sie einfach danach.

6″ Reticle mit Pellicle:

300x300-PRODUCT35

 

Wussten Sie schon?

Compugraphics war der erste Maskenhersteller in Europa? Seit dem haben wir über 250,000 Reticle verkauft.

 

 

Bleiben Sie auf dem laufenden mit unserem E-Mail-Newsletter